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半导体行业—元器件/密封件密封性检测解决方案

方案概述

用于电子元器件/密封件检漏，方案由压氦罐、检漏罐、氦质谱检漏仪组成

方案优势

性能优越

性能优越

最小可检漏率低，灵敏度高，检测量程达到12级
自动清氦

自动清氦

独特的气路设计，提高了对氦的抽速，缩短了清氦本底时间，有效防止氦污染
智能化生产

智能化生产

智能故障提示及报警功能
方案构成

方案构成

用于电子元器件/密封件检漏，方案由压氦罐、检漏罐、氦质谱检漏仪组成

行业应用

华为科技有限公司

华为科技有限公司

中国电子科技集团第三十八研究所

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